三、“十一五”發(fā)展思路和目標(biāo)
（一）發(fā)展思路
加大國際合作，加強(qiáng)共性基礎(chǔ)技術(shù)研究，突破關(guān)鍵技術(shù)，縮小電子專用設(shè)備和儀器、工模具與國外先進(jìn)水平的差距。以數(shù)字電視和新一代移動通信等產(chǎn)業(yè)發(fā)展為契機(jī)，推動產(chǎn)品工藝與設(shè)備儀器開發(fā)相結(jié)合，促進(jìn)產(chǎn)用結(jié)合。加強(qiáng)政策引導(dǎo)，加大政府投入，大力發(fā)展集成電路、平板顯示器件等重大技術(shù)裝備，鼓勵開發(fā)量大面廣的新型元器件生產(chǎn)設(shè)備、表面貼裝和支持無鉛工藝整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備，加大高性能測試儀器的研發(fā)力度。
（二）發(fā)展目標(biāo)
“十一五”期間，我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)保持年均25%的增長速度，電子測量儀器產(chǎn)業(yè)保持年均20%的增長速度，到2010年我國電子專用設(shè)備儀器國內(nèi)市場占有率力爭超過20%。到2010年，部分12 英寸集成電路生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入生產(chǎn)線使用，8英寸集成電路生產(chǎn)設(shè)備和平板顯示器件后段設(shè)備基本立足國內(nèi)，部分中低端元器件生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)水平接近國際先進(jìn)水平，初步建立以企業(yè)為主體的技術(shù)創(chuàng)新體系。電子測量儀器產(chǎn)業(yè)初步掌握部分核心技術(shù)，部分滿足國內(nèi)市場需求。
四、發(fā)展重點
（一）電子專用設(shè)備
半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備。重點發(fā)展8-12英寸集成電路關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備，包括光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、平坦化設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、摻雜設(shè)備、勻膠顯影設(shè)備、快速熱處理設(shè)備、清洗設(shè)備等芯片制造設(shè)備，鍵合設(shè)備、劃片設(shè)備、剪薄設(shè)備、裝片設(shè)備等封裝設(shè)備和專用模具，以及檢測設(shè)備和材料制備設(shè)備等。積極跟蹤化合物半導(dǎo)體技術(shù)，加快化合物半導(dǎo)體（GaAs、InP、GaN、SiC）制造設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。
新型顯示器件專用設(shè)備。力爭形成TFT-LCD移載、清洗等設(shè)備的配套能力；積極開展面板生產(chǎn)線陣列和成盒等前道工藝設(shè)備的研究開發(fā)，重點提高濕/干法刻蝕機(jī)、液晶灌注機(jī)等研制水平。加強(qiáng)高亮度LED關(guān)鍵制造設(shè)備、PDP關(guān)鍵制造設(shè)備和OLED關(guān)鍵制造設(shè)備及測試儀器的開發(fā)生產(chǎn)。
電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備。重點突破全自動精密貼片機(jī)、大尺寸全自動精密印刷機(jī)、全自動插裝機(jī)、自動光學(xué)檢測設(shè)備（AOI）等關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，，擴(kuò)大市場占有率。大力支持適應(yīng)無鉛工藝的貼裝設(shè)備（如無鉛再流焊機(jī)、無鉛波峰焊機(jī)等）的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。
新型電子元器件設(shè)備。重點發(fā)展片式元器件、新型綠色電池、高檔磁性材料、新型印制線路板等量大面廣的新型元器件生產(chǎn)設(shè)備，高頻頻率器件生產(chǎn)設(shè)備、MEMS生產(chǎn)設(shè)備以及電子專用工模具和高精度模具等。
（二）電子測量儀器
加快發(fā)展集成電路和電子基礎(chǔ)測試儀器。重點發(fā)展高速數(shù)模混合信號集成電路測試系統(tǒng)、邊界掃描測試系統(tǒng)、SoC測試系統(tǒng)和新型顯示器件參數(shù)測量儀器、新型電子元器件參數(shù)測試儀器、印制電路板各類測試儀器、大功率器件測試儀器、片式元器件生產(chǎn)線在線測試儀器系列等。
重點開發(fā)綜合測試儀、網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)測試設(shè)備、路測儀等新一代移動通信測量儀器和測試系統(tǒng)，以及光通信、衛(wèi)星通信測試儀器和計算機(jī)網(wǎng)絡(luò)通信測試儀器等。以音視頻產(chǎn)品由模擬向數(shù)字技術(shù)過渡為契機(jī)，重點發(fā)展數(shù)字電視研究開發(fā)、生產(chǎn)用的調(diào)試測試設(shè)備儀器。積極發(fā)展高性能通用測試儀器。
五、政策措施
（一）制定落實促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策
積極落實《國務(wù)院關(guān)于實施<國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要>若干配套政策》和《關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見》，加快制定鼓勵電子專用設(shè)備和儀器發(fā)展的政策實施細(xì)則。適時修訂《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》和《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄》，調(diào)整關(guān)稅政策，進(jìn)一步完善相關(guān)政策法規(guī)，營造良好的市場環(huán)境。
（二）加大資金扶持力度
加大國家投入，支持電子專用設(shè)備和儀器的研究開發(fā)。組織實施極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝等科技重大專項，在國家年度投資安排中，支持對結(jié)構(gòu)調(diào)整和產(chǎn)業(yè)升級有重大影響的設(shè)備和儀器的技術(shù)進(jìn)步項目，在數(shù)字音視頻、移動通信、平板顯示器件等國家專項中重點支持關(guān)鍵設(shè)備儀器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。通過國家投入帶動社會投資，拓寬融資渠道，推進(jìn)關(guān)鍵設(shè)備和儀器國產(chǎn)化。
（三）加大國際合作
鼓勵國內(nèi)企業(yè)通過國際合作、并購、參股國外先進(jìn)的研發(fā)制造企業(yè)等方式掌握關(guān)鍵技術(shù)，鼓勵國內(nèi)企業(yè)與國外企業(yè)廣泛開展聯(lián)合設(shè)計和制造，通過引進(jìn)消化吸收和再創(chuàng)新，提高對相關(guān)技術(shù)的掌握能力。引導(dǎo)和鼓勵跨國公司在華建立生產(chǎn)、研發(fā)和服務(wù)中心。推動設(shè)備和儀器研制和生產(chǎn)過程國際化，推廣國際質(zhì)量認(rèn)證模式，提高產(chǎn)品可靠性。
（四）增強(qiáng)自主創(chuàng)新能力
國家加大對關(guān)鍵基礎(chǔ)性技術(shù)和原材料研究的支持力度。在引進(jìn)國外先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上，實現(xiàn)消化吸收再創(chuàng)新；在推廣現(xiàn)有成果的基礎(chǔ)上，組織關(guān)鍵領(lǐng)域的集成創(chuàng)新，創(chuàng)建一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的知名品牌。確立企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的主體地位，鼓勵企業(yè)與科研院所、大專院校聯(lián)合進(jìn)行研究開發(fā)，加快科技成果的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。鼓勵產(chǎn)品、工藝開發(fā)企業(yè)和設(shè)備儀器企業(yè)聯(lián)合開展研發(fā)工作，推動產(chǎn)用結(jié)合。
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